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    掃描電鏡帶能譜如何控制電子路徑及操作方法

    發布時間:2022-05-12    瀏覽量:1348
        掃描電鏡帶能譜結合了表面成像功能和元素分析EDS功能,EDS(能譜儀)可以準確的進行樣品表面元素的定性和定量分析。臺式電鏡能譜儀體積小巧,*嵌入在電鏡主機中,采用半導體制冷,無需額外冷卻系統。

        掃描電鏡帶能譜如何控制電子路徑:

        與光學顯微鏡類似,掃描電鏡也通過透鏡來控制電子路徑。但因為電子無法穿過玻璃,所以掃描電鏡必須使用電磁透鏡。它們由線圈和金屬極片構成。當電流通過線圈,就會產生磁場。由于電子對磁場非常敏感,因此只需調節所施加的電流大小就可以控制鏡筒內的電子路徑。

        通常,電磁透鏡有聚光鏡及物鏡兩種:聚光鏡是電子向樣品移動時遇到的第一個透鏡。該透鏡在電子束錐再次打開前使電子束會聚,并在撞擊掃描樣品之前由物鏡再次會聚。聚光鏡決定了電子束的大小(這決定了分辨率高低),而物鏡的主要作用是將電子束聚焦到樣品上。它的透鏡系統還包含掃描線圈,用來對樣品表面進行柵網式掃描。很多時候,會將光闌與透鏡相結合來控制電子束的大小。

        掃描電鏡帶能譜的基本操作:


        首先在掃描電鏡窗口下找到感興趣的樣品區域,其次在能譜軟件窗口對樣品區域進行點、線或面掃描,即可獲取樣品指定區域的元素種類、分布及含量百分比。

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